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製品情報
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   製品概要  

 水・酸素フリーガス精製装置(SiWOF−2000)は、 酸素イオン導伝体を応用した、
ニュータイプのガス ピュリファイアーです。従来の乾燥剤方式、コール ドラップ方式、
フィルタ方式などの水分除去装置は、 連続運転が困難でしたが、本装置では原理的
に除湿 量、脱酸素量に制限がないため、長期間(約 1 年) の連続運転が可能です。

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   特徴・機能
   
・酸素フリー(1x10E-20atmO2以下)低露点(DP-90℃以下)精製ガスを長期間連続的に供給できます。
・不活性ガス(N2,Ar,など)水素ガスの精製ができます。
・長期連続運転が可能です
 
   システム  

 酸素イオン導伝体(Yttria Stabilized Zirconia)を用いた電気的な水分分解除去法、及び酸素除去機能を利用。

 
 
 
 
     
   仕様・性能    
       
処理ガス流量 2.0SLM(0.2m3/h)
 
処理ガス損

不活性ガス(He,Ar,N? )及び水素ガス

   
処理ガス圧力 0 〜 100kPa(ゲージ圧)    
供給ガス純度 工業用ガス相当(10ppmvH2O,O2 以下)    
精製ガス純度 H2O…100ppbv(DP−90℃)以下、
O2…1×10E-20atm 以下
   
寸法 W270×D250×H1200    
重量 約35kg    
電源 AC100V/1.5kVA    
据付 壁掛け式 (オプションにて専用キャスター付架台準備)    
       
 
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