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| 製品概要 | |||
水・酸素フリーガス精製装置(SiWOF−2000)は、
酸素イオン導伝体を応用した、 |
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特徴・機能 |
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| ・酸素フリー(1x10E-20atmO2以下)低露点(DP-90℃以下)精製ガスを長期間連続的に供給できます。 ・不活性ガス(N2,Ar,など)水素ガスの精製ができます。 ・長期連続運転が可能です |
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| システム | |||
酸素イオン導伝体(Yttria Stabilized Zirconia)を用いた電気的な水分分解除去法、及び酸素除去機能を利用。 |
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| 仕様・性能 | |||
| 処理ガス流量 | 2.0SLM(0.2m3/h) | ||
| 処理ガス損 | 不活性ガス(He,Ar,N? )及び水素ガス |
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| 処理ガス圧力 | 0 〜 100kPa(ゲージ圧) | ||
| 供給ガス純度 | 工業用ガス相当(10ppmvH2O,O2 以下) | ||
| 精製ガス純度 | H2O…100ppbv(DP−90℃)以下、 O2…1×10E-20atm 以下 |
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| 寸法 | W270×D250×H1200 | ||
| 重量 | 約35kg | ||
| 電源 | AC100V/1.5kVA | ||
| 据付 | 壁掛け式 (オプションにて専用キャスター付架台準備) | ||
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