HOME > 製品情報 > 酸素ガス制御装置 > 水・酸素フリーガス精製装置 | |||
>>酸素分圧コントローラー | |||
>>酸素分圧&雰囲気制御試験炉 | |||
>>水・酸素フリーガス精製装置 | |||
>>湿式酸素分圧制御装置 | |||
化学分析システム | |||
科学実験装置設計・製作 | |||
自動計測制御システム | |||
マイクロチャンバー | |||
製品概要 | |||
水・酸素フリーガス精製装置(SiWOF−2000)は、
酸素イオン導伝体を応用した、 |
|||
特徴・機能 |
|||
・酸素フリー(1x10E-20atmO2以下)低露点(DP-90℃以下)精製ガスを長期間連続的に供給できます。 ・不活性ガス(N2,Ar,など)水素ガスの精製ができます。 ・長期連続運転が可能です |
|||
システム | |||
酸素イオン導伝体(Yttria Stabilized Zirconia)を用いた電気的な水分分解除去法、及び酸素除去機能を利用。 |
|||
仕様・性能 | |||
処理ガス流量 | 2.0SLM(0.2m3/h) | ||
処理ガス損 | 不活性ガス(He,Ar,N? )及び水素ガス |
||
処理ガス圧力 | 0 〜 100kPa(ゲージ圧) | ||
供給ガス純度 | 工業用ガス相当(10ppmvH2O,O2 以下) | ||
精製ガス純度 | H2O…100ppbv(DP−90℃)以下、 O2…1×10E-20atm 以下 |
||
寸法 | W270×D250×H1200 | ||
重量 | 約35kg | ||
電源 | AC100V/1.5kVA | ||
据付 | 壁掛け式 (オプションにて専用キャスター付架台準備) | ||
<<前のページ |
Page Top HOME 会社案内 お問合せ LINK |