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| 製品概要 | |||
タッチパネル、ネットワーク及びPCから温度制御、雰囲気制御、酸素分圧制御、プロ |
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特徴・機能 |
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・簡便なGUIによりタッチパネル、ネットワークPCから容易に温度、雰囲気、酸素分圧等のプロ |
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| 仕様・性能 | |||
雰囲気ガスライン |
最大3ガス種 | ||
| 雰囲気ガス流量 | max500SCCM | ||
| 制御酸素分圧 | 10E5〜10E-25Pa(オプション) | ||
| 炉口径 | φ31,φ41,φ51,φ61 | ||
| 灼熱長 | 120〜250mm | ||
| 使用温度 | 常温〜1150℃ | ||
| 温度プログラム | 16ステップ×16パターン | ||
| 制御方法 | 1ゾーン制御,3ゾーン制御 | ||
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