HOME > 製品情報 > 酸素ガス制御装置 > 湿式酸素分圧制御装置 | |||
>>酸素分圧コントローラー | |||
>>酸素分圧&雰囲気制御試験炉 | |||
>>水・酸素フリーガス精製装置 | |||
>>湿式酸素分圧制御装置 | |||
化学分析システム | |||
科学実験装置設計・製作 | |||
自動計測制御システム | |||
マイクロチャンバー | |||
製品概要 | |||
本装置は、試験雰囲気ガス(Arなど)に任意濃度の水素(H2)と水蒸気(H2O) |
|||
特徴・機能 |
|
||
・H2/O2平衡ガスによる極低酸素雰囲気(〜10E-30atmO2)調整装置です。 |
|||
システム | |||
試験雰囲気ガス(アルゴン、窒素等)中の酸素分圧は、 |
(例) |
||
仕様・性能 | |||
酸素分圧制御範囲 | E-20〜E-30atmO2 | ||
使用ガス | 0〜4%H2/Ar | ||
加湿器 | 拡散式 | ||
加湿水分濃度 | 100ppmv以下〜2000ppmv以上 | ||
試験雰囲気ガス流量 | 50〜500SCCM | ||
高感度酸素センサー | 測定範囲:1〜1xE-30atmO2 |
||
本体寸法 | W500xD600xH1700 | ||
電源 | AC100V/3kVA | ||
<<前のページ |
Page Top HOME 会社案内 お問合せ LINK |