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製品情報
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   製品概要  

 本装置は、試験雰囲気ガス(Arなど)に任意濃度の水素(H2)と水蒸気(H2O)
を加え平衡反応により酸素分圧を調整し、ジルコニア式酸素センサーにより測定し
ます。本装置では迅速な試験雰囲気ガスの酸素分圧調整が可能であり、付属する
酸素センサー(SiOC-200C)により極低酸素濃度(1〜10E-30atmO2)まで測
定できます。

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   特徴・機能
 

 

 ・H2/O2平衡ガスによる極低酸素雰囲気(〜10E-30atmO2)調整装置です。
 ・迅速に極低酸素雰囲気を提供できます。
 ・付属の高感度酸素センサーにより酸素  分圧をモニターできます。

 
   システム  

 試験雰囲気ガス(アルゴン、窒素等)中の酸素分圧は、
下記の式により水素濃度及び水蒸気濃度と、その温度
における熱力学的平衡定数Kpにより定まります。この
酸素分圧は、付属高感度酸素センサーにより確認でき
ます。

(例)
4volH2、2000ppmH2Oを含む雰囲気ガス中の
酸素分圧は、温度700℃(Kp=2.65x10E10)
のとき、8.9x10E-25atmO2となります。

 
 
 
 
     
     
     
     
   仕様・性能    
       
酸素分圧制御範囲 E-20〜E-30atmO2
 
使用ガス 0〜4%H2/Ar    
加湿器 拡散式    
加湿水分濃度 100ppmv以下〜2000ppmv以上    
試験雰囲気ガス流量 50〜500SCCM    
高感度酸素センサー

測定範囲:1〜1xE-30atmO2
測定方式:ジルコニア式

   
本体寸法 W500xD600xH1700    
電源 AC100V/3kVA    
       
 
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