・”リークゼロ”の超高真空（１ｘ１０Ｅ-６Ｐａ）対応型マイクロチャンバーです。
　　・各種デバイスやセンサー開発に活躍します。
　　・ＰＩＤ式酸素分圧コントローラー（ＳＴＬａｂ製）との組み合わせにて、極低酸素
　　 １〜１０Ｅ-30ａｔｍＯ2雰囲気での実験も可能です。
　　・３軸ステージ（Ｘ，Ｙ，Ｚ）により測定プローブの位置決めが高精度に可能です。
　　・試料の加熱冷却が可能です。