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| HOME > 製品情報 > マイクロチャンバー > 赤外線加熱＆酸素分圧制御マイクロチャンバー | |||||||||||||||||
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| 製品概要 | |||||||||||||||||
本装置は、４対の測定マイクロプローブと上下２台の赤外線加熱炉を有する高真空対応型のマイクロ |
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| 仕様・性能 | |||||||||||||||||
| 【赤外線マイクロチャンバー】 |  |
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| チャンバーサイズ | φ152mm×80mm（内部φ100×50ml） |  |
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| 試料サイズ | maxφ25.4×t2mm | ||||||||||||||||
| 試料ホルダー | ＳｉＣ製 | ||||||||||||||||
| 照射窓 | 石英ガラス（上下２枚、Φ100×t6mm） | ||||||||||||||||
| 到達真空 | １０Ｅ−６Ｐａ | ||||||||||||||||
| ﾏｲｸﾛﾌﾟﾛｰﾌﾞ探芯 | 白金メッキタングステン（先端50ﾐｸﾛﾝR） | ||||||||||||||||
| 探芯移動方法 | ３軸（X,Y,Z）ステージ | ||||||||||||||||
| 赤外線加熱炉 | 集光加熱方式（２kW／台） | ||||||||||||||||
| 集光サイズ | φ３０mm（焦点距離80mm） | ||||||||||||||||
| 最高温度 | １２００℃以上 | ||||||||||||||||
| 外形寸法 | W364×H700×D364 | ||||||||||||||||
| 【ＰＩＤ式酸素分圧コントローラー】 | |||||||||||||||||
| 酸素分圧制御装置 | １〜１０Ｅ-３０atm／ＣＢタイプ | ||||||||||||||||
| 処理ガス種 | 不活性ガス（N2, Ar, Heなど） | ||||||||||||||||
| 処理ガス流量 | ２００ＳＣＣＭ | ||||||||||||||||
| 酸素分圧制御方式 | ジルコニア式酸素ポンプ | ||||||||||||||||
| 酸素分圧設定 | デジタル式 | ||||||||||||||||
| 外部ﾓﾆﾀｰ制御・ｿﾌﾄ | 標準添付 | ||||||||||||||||
| モニター項目 | 酸素分圧、ライン圧力 | ||||||||||||||||
| 制御項目 | 酸素分圧、外部流路切換 | ||||||||||||||||
| 外形寸法 | W220×H378×D570 | ||||||||||||||||
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