高温＆超高真空対応型マイクロチャンバー

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　　　　酸素分圧制御マイクロチャンバー

　　　製品概要

　高温、超高真空及び極低酸素雰囲気対応のステンレス製マイクロチャンバーです。
４組の測定プローブ（深針）は、３軸（X,Y,Z）ステージにより高精度に位置決めが可能であり、
サーモコアックスヒーター内蔵加熱試料台により最大８００℃の加熱が可能です。さらに付属
ターボ分子ポンプにより到達真空１×１０Ｅ－６Ｐａの高真空雰囲気が得られます。

　　　特徴・機能

　　・”リークゼロ”の超高真空（１ｘ１０Ｅ-６Ｐａ）対応型マイクロ　チャンバーです。
　　・最大８００℃の高温加熱が可能です。
　　・ＰＩＤ式酸素分圧コントローラー（ＳＴＬａｂ製）との組み合わせにて極低酸素
　　１～１０Ｅ-30ａｔｍＯ2雰囲気での実験も可能です。
　　・３軸ステージ（Ｘ，Ｙ，Ｚ）により測定プローブの位置決めが　高精度に可能です。
　　・サイリスタ制御式ヒーター加熱電源が付属します。
　　・外部温度制御プログラムが付属します。
　　・ドライポンプ付ターボ分子ポンプが付属します。